鍍膜機真空泵是在一定的封閉空間內，通過各種方法產生、提高和保持真空的裝置。真空鍍膜設備的真空泵是指用機械的、物理的、化學的或物理化學的方法從容器中抽出空氣以獲得真空的裝置或設備。隨著真空鍍膜機真空應用的發展，真空泵的種類也越來越多。泵速從每秒0.0升到每秒數十萬或數百萬升。及限壓力（及限真空）范圍從粗真空到10-12pa以上的高真空。
真空鍍膜機主要是指需要在高真空下進行的鍍膜，包括真空離子蒸發、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思想分為蒸發和濺射。
鍍膜機真空泵在日常中應這樣維護保養：
1、檢查旋片式真空機組管路及接頭有無松動。用手轉動真空泵，看它是否靈活。
2、向軸承體中加入軸承潤滑油，觀察油痕中芯線油位，及時更換或補充潤滑油。
3、關閉出口管閘閥、出口壓力表、進口真空表。
4、擰下真空泵體的引水塞，注入水或泥漿。
5、點動電機，看電機轉向是否正確。
6、啟動電機。真空泵正常工作時，打開真空泵出口壓力表和滑閥。根據適當的壓力逐漸打開閘閥，同時檢查電機負載。
7、盡量將真空泵的流量和揚程控制在標牌上標明的范圍內，以保證真空泵在高校率點運行，從而達到大的節能效果。
8、真空泵運行時，軸承溫度不得超過35℃，高溫度不得超過80℃。
9、如發現鍍膜機真空泵有異響，應立即停機檢查原因。真空泵在一個月內100小時后更換潤滑油，然后每500小時更換一次潤滑油。
10、定期檢查軸套磨損情況，磨損較大時及時更換。
