愛德華真空泵的種類有哪些呢,看完您就知道了
愛德華真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,便于管道的組裝和連接。但由于泵的重心高,在高速下穩定性差,所以這種泵多用于小型泵。
臥式泵的進風口在頂部,出風口在底部。有時為了便于真空系統管路的安裝和連接,排氣口可以從水平方向連接,即進出口方向相互垂直。此時,排氣口可從左或右打開,除一端是排氣管外,另一端是堵塞或連接旁通閥。這種泵重心低,高速時穩定性好。一般大中型泵都采用這種結構。

愛德華真空泵的種類都有這些:
1、爪式真空泵
它是針對電子半導體工業而研制開發的干式真空泵,適應清潔真空需求,并且具有自行開閉的閥門效果,具備較高的效率。
2、螺桿真空泵
螺桿真空泵和爪形真空泵一樣,是一種非接觸式無油真空泵。泵腔內無油、水等物質。同時,轉子之間有間隙,因此對顆粒物和可冷凝氣體有一定的耐受性。同時,與爪形真空泵相比,由于它沒有與閥門類似的結構,存在效率不足的問題,但其氣道通暢,轉子結構簡單,適應性較好,因此兩者都具有優勢。
3、渦旋式真空泵
渦旋真空泵的開發和生產主要集中在美國、日本和英國,因此國內很多企業對這種無油真空泵并不了解。由于其抽速低,被廣泛應用于分析儀器、半導體芯片生產線、科研設備以及分子泵和小型低溫泵。
4、羅茨真空泵
羅茨真空泵種類較多,分濕式、干式以及直排大氣型、普通型、多級羅茨等等,因此造成了一些用戶對它的誤解。應用于中高真空的機械增壓泵以及多級羅茨泵其實都是無油真空泵,且抽氣量大,應用廣泛。
5、無油旋片真空泵與無油活塞真空泵(往復泵)
普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵雖然在泵腔內有油介質,但也可以利用自潤滑材料實現無油運行,成為無油真空泵。另外,往復泵中的隔膜真空泵,也沒有油型。
6、渦輪分子泵
它是一種原應用于超高真空的無油真空泵,隨著向高出口壓力、高流量方向發展,應用范圍逐漸向中高真空領域發展。
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